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吳亮:PVT法同質(zhì)外延生長高質(zhì)量2英寸Al極性AlN單晶研究

視頻WBSC 20212025-01-10 11:58
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《PVT法同質(zhì)外延生長高質(zhì)量2英寸Al極性AlN單晶研究》作者:李哲,張剛,雷丹,黃嘉麗,付丹揚,王琦琨,吳亮單位:奧趨光電技術(shù)(杭州)有限公司
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