專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開(kāi)了一種HVPE大尺寸氮化鎵晶圓鎵舟反應(yīng)器,包括：鎵舟；鎵反應(yīng)室；主進(jìn)氣管；副進(jìn)氣口；氣體流通口，所述氣體流通口開(kāi)設(shè)在多層反應(yīng)室內(nèi)除最底層的其余反應(yīng)室內(nèi)；鎵反應(yīng)出口，所述鎵反應(yīng)出口開(kāi)設(shè)在鎵反應(yīng)室的底部；混合室，所述混合室設(shè)置在鎵舟內(nèi)部且位于鎵反應(yīng)室的底部；反應(yīng)主出口，所述反應(yīng)主出口開(kāi)設(shè)在混合室的底部中央?yún)^(qū)域；反應(yīng)副出口，所述反應(yīng)副出口開(kāi)設(shè)在混合室的底部邊緣區(qū)域；主出氣管，所述主出氣管一端與混合室的底部連接將反應(yīng)主出口和反應(yīng)副出口分隔，另一端與鎵舟的底部中央連通；副出氣管。本實(shí)用新型的有益效果是主副出氣管排出的氣體，都能夠均勻的在襯底表面沉積，可以提升氮化鎵晶圓片生長(zhǎng)尺寸。

天眼查資料顯示，鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司，成立于2017年，位于銅陵市，是一家以從事研究和試驗(yàn)發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本42000萬(wàn)人民幣，實(shí)繳資本4500萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司參與招投標(biāo)項(xiàng)目11次，專利信息31條，此外企業(yè)還擁有行政許可14個(gè)。