半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)訊:在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,碳化硅(SiC)作為第三代半導(dǎo)體材料的代表,因其卓越的性能而備受關(guān)注。然而,高品質(zhì)低成本碳化硅晶體的生長(zhǎng)一直是行業(yè)內(nèi)的技術(shù)難題。今天,常州臻晶半導(dǎo)體有限公司憑借其創(chuàng)新的液相法碳化硅電阻爐技術(shù),為這一領(lǐng)域帶來了全新的解決方案,其產(chǎn)品以獨(dú)特的差異化特點(diǎn)脫穎而出,引領(lǐng)著行業(yè)發(fā)展的新潮流。
6-8英寸液相法碳化硅電阻爐
一、創(chuàng)新技術(shù),突破行業(yè)瓶頸
(一)液相法單晶爐制造技術(shù)
常州臻晶半導(dǎo)體自主研發(fā)的液相法單晶爐,采用了先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念和制造工藝。該單晶爐具有6 - 8英寸大直徑設(shè)計(jì),能夠滿足不同尺寸晶體生長(zhǎng)的需求。同時(shí),它還具備多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)精確監(jiān)控功能,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)溫場(chǎng)空間的實(shí)時(shí)穩(wěn)定調(diào)控。這種精準(zhǔn)的溫度控制能力,使得固液界面狀態(tài)能夠得到實(shí)時(shí)調(diào)控,為碳化硅晶體的穩(wěn)定生長(zhǎng)提供了有力保障。通過這一技術(shù),常州臻晶半導(dǎo)體成功解決了傳統(tǒng)氣相PVT長(zhǎng)晶技術(shù)中存在的溫度高、不可實(shí)時(shí)監(jiān)控、長(zhǎng)晶厚度薄、擴(kuò)徑難等問題,實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)的重大突破。
(二)多元活性助溶技術(shù)
在碳化硅晶體生長(zhǎng)過程中,碳源的供應(yīng)至關(guān)重要。常州臻晶半導(dǎo)體的多元活性助溶技術(shù),通過使用優(yōu)化助熔劑配方,增加了高溫區(qū)碳源的供應(yīng),從而提高了溶碳量。這一技術(shù)的應(yīng)用,不僅提升了晶體生長(zhǎng)的速率,還有效提高了晶體的良率。與傳統(tǒng)的碳源供應(yīng)方式相比,多元活性助溶技術(shù)能夠更好地實(shí)現(xiàn)碳源的快速持續(xù)可控供應(yīng),為碳化硅晶體的高質(zhì)量生長(zhǎng)提供了充足可控的碳源。
(三)液相法SiC長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定長(zhǎng)晶工藝
常州臻晶半導(dǎo)體的液相法SiC長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定長(zhǎng)晶工藝,是其產(chǎn)品差異化的核心競(jìng)爭(zhēng)力之一。該工藝通過精確控制生長(zhǎng)參數(shù),實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶體的可控生長(zhǎng)。這種可控性不僅體現(xiàn)在晶體生長(zhǎng)的速度和質(zhì)量上,還體現(xiàn)在晶體的尺寸和形狀上。通過這一工藝,常州臻晶半導(dǎo)體能夠生產(chǎn)出高品質(zhì)、大尺寸、形狀規(guī)則的碳化硅晶體,滿足了市場(chǎng)對(duì)于高性能碳化硅材料的需求。此外,該工藝還具有生長(zhǎng)效率高、能耗低等優(yōu)點(diǎn),符合新時(shí)代低能耗的發(fā)展要求,為客戶降低了生產(chǎn)成本,提高了經(jīng)濟(jì)效益。
二、卓越性能,滿足高端需求
(一)高品質(zhì)晶體
常州臻晶半導(dǎo)體的液相法碳化硅電阻爐所生長(zhǎng)的晶體,具有“0”微管、“極低”位錯(cuò)的優(yōu)異品質(zhì)。拉曼光譜分析結(jié)果顯示單晶100%為4H晶型,單晶X射線衍射搖擺曲線測(cè)試顯示FWHM為20弧秒,表明晶體結(jié)構(gòu)完整,缺陷少。這種高品質(zhì)的碳化硅晶體,能夠滿足高端半導(dǎo)體器件制造對(duì)于材料的嚴(yán)格要求,為新能源汽車、數(shù)據(jù)中心、AR眼鏡、智能電網(wǎng)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的材料基礎(chǔ)。
(二)易擴(kuò)徑與易長(zhǎng)厚
液相法碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)在擴(kuò)徑和長(zhǎng)厚方面具有天然的優(yōu)勢(shì)。由于其生長(zhǎng)原理、物質(zhì)傳輸特性及熱力學(xué)穩(wěn)定性等因素,使得晶體易于擴(kuò)徑至8英寸及以上尺寸,同時(shí)也能夠?qū)崿F(xiàn)較厚晶體的生長(zhǎng),極限長(zhǎng)晶厚度可達(dá)6cm以上。這對(duì)于滿足未來大尺寸碳化硅器件制造的需求具有重要意義。大尺寸、厚晶體的碳化硅材料,能夠提高器件的性能和可靠性,為高端半導(dǎo)體器件及光學(xué)應(yīng)用的研發(fā)和生產(chǎn)提供了更廣闊的空間。
三、完善產(chǎn)品及服務(wù),助力客戶成功
(一)熱場(chǎng)工藝包及服務(wù)
常州臻晶半導(dǎo)體還可為客戶提供專業(yè)的熱場(chǎng)工藝包。設(shè)備交付同時(shí),公司可以提供長(zhǎng)晶所需的全套熱場(chǎng)及原材料,安排專人到客戶處使用交付設(shè)備進(jìn)行長(zhǎng)晶演示,全程示范操作工藝。在演示過程中,同步對(duì)客戶指定人員進(jìn)行工藝培訓(xùn),幫助客戶掌握先進(jìn)的碳化硅晶體生長(zhǎng)工藝。對(duì)于客戶在自主長(zhǎng)晶過程中遇到的問題,公司會(huì)及時(shí)進(jìn)行評(píng)估并提供專業(yè)的解答,助力客戶成功生產(chǎn)出高品質(zhì)的碳化硅晶體。
(二)配套液相法籽晶粘接爐(帶柔性粘接工藝包)
在液相法碳化硅晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域,常州臻晶半導(dǎo)體的柔性粘接工藝堪稱一項(xiàng)奇妙創(chuàng)新。該工藝采用先進(jìn)的粘接技術(shù),確保在晶體生長(zhǎng)完成后,能夠?qū)崿F(xiàn)零損傷地取出單晶。這一技術(shù)突破,不僅最大程度地保留了晶體的完整性,還為后續(xù)的加工和應(yīng)用提供了極大的便利。與傳統(tǒng)的粘接方法相比,柔性粘接工藝在晶體生長(zhǎng)過程中能夠更好地適應(yīng)晶體的熱膨脹和收縮,避免了因應(yīng)力集中而導(dǎo)致的晶體裂紋和損傷。這種對(duì)晶體生長(zhǎng)應(yīng)力的優(yōu)化改善,使得晶體的質(zhì)量和性能得到了顯著提升,滿足了高端半導(dǎo)體器件制造對(duì)于材料的嚴(yán)格要求。
6-8英寸液相法碳化硅籽晶粘接爐
(三)設(shè)備售后
常州臻晶半導(dǎo)體擁有一支專業(yè)高效的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),始終以服務(wù)客戶為第一原則。在設(shè)備安裝調(diào)試方面,公司承諾設(shè)備到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)后1個(gè)工作日內(nèi)安排人員進(jìn)行安裝調(diào)試,確保設(shè)備能夠快速投入使用。設(shè)備安裝調(diào)試完成后1個(gè)工作日內(nèi),公司會(huì)提供設(shè)備操作指導(dǎo),并提供詳細(xì)的操作手冊(cè),幫助客戶快速掌握設(shè)備的使用方法。此外,公司還會(huì)提供設(shè)備保養(yǎng)指南,并對(duì)客戶進(jìn)行日常維護(hù)指導(dǎo),延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。在故障診斷及維修方面,常州臻晶半導(dǎo)體提供快速響應(yīng)服務(wù),自設(shè)備驗(yàn)收合格之日起1年內(nèi),2小時(shí)響應(yīng),8小時(shí)反饋,第一時(shí)間為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。這種全方位、高效率的售后服務(wù),為客戶提供了堅(jiān)實(shí)的后盾,讓客戶在使用設(shè)備過程中無后顧之憂。
四、合作優(yōu)勢(shì),共創(chuàng)美好未來
選擇常州臻晶半導(dǎo)體的液相法碳化硅電阻爐,您將獲得以下合作優(yōu)勢(shì):
(一)技術(shù)領(lǐng)先
常州臻晶半導(dǎo)體在液相法碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位。公司擁有一支由陸敏博士等多位資深專家組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì),他們?cè)诨衔锇雽?dǎo)體領(lǐng)域擁有幾十年的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)。團(tuán)隊(duì)人員承擔(dān)或參與了多項(xiàng)國(guó)家發(fā)改委、工信部、科技部重點(diǎn)研究計(jì)劃、863、973和國(guó)家自然科學(xué)基金等科技及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。公司申請(qǐng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利40件,授權(quán)30件,起草并發(fā)布國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng),國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)4項(xiàng)。與常州臻晶半導(dǎo)體合作,您將能夠享受到行業(yè)內(nèi)最前沿的技術(shù)成果,為您的企業(yè)發(fā)展注入強(qiáng)大的動(dòng)力。
(二)產(chǎn)品可靠
常州臻晶半導(dǎo)體的液相法碳化硅電阻爐經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)和工藝驗(yàn)證,具有穩(wěn)定可靠的性能。公司建立了完善的質(zhì)量管理體系,從原材料采購到產(chǎn)品生產(chǎn),再到最終的出廠檢測(cè),每一個(gè)環(huán)節(jié)都嚴(yán)格把控,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,公司已通過IATF16949認(rèn)證。選擇常州臻晶半導(dǎo)體的產(chǎn)品,您將獲得高品質(zhì)、高性能的設(shè)備,為您的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)提供可靠的保障。
(三)服務(wù)專業(yè)
常州臻晶半導(dǎo)體始終堅(jiān)持以客戶為中心,為客戶提供專業(yè)、高效、貼心的服務(wù)。無論是設(shè)備的安裝調(diào)試、操作培訓(xùn),還是后期的維護(hù)保養(yǎng)、故障維修,公司都能夠提供全方位、一站式的解決方案。此外,公司還為客戶提供工藝服務(wù)支持,幫助客戶提升生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量。與常州臻晶半導(dǎo)體合作,您將享受到專業(yè)、高效的服務(wù)體驗(yàn),讓您的企業(yè)發(fā)展更加順暢。
(四)共同發(fā)展
常州臻晶半導(dǎo)體致力于與客戶建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系,共同推動(dòng)碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。公司愿意與客戶分享技術(shù)經(jīng)驗(yàn),共同探索新的應(yīng)用場(chǎng)景和市場(chǎng)機(jī)會(huì)。通過與常州臻晶半導(dǎo)體的合作,您將能夠借助公司的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和市場(chǎng)資源,實(shí)現(xiàn)企業(yè)的快速發(fā)展,共同開創(chuàng)美好的未來。常州臻晶半導(dǎo)體有限公司的液相法碳化硅電阻爐,以其創(chuàng)新的技術(shù)、卓越的性能和完善的服務(wù),為碳化硅晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域帶來了全新的解決方案。選擇常州臻晶半導(dǎo)體,您將獲得行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)支持、高品質(zhì)的產(chǎn)品設(shè)備和專業(yè)高效的服務(wù)保障。讓我們攜手共進(jìn),共創(chuàng)碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的美好明天!