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CASICON重慶站:全面聚焦氮化鎵、氧化鎵、金剛石功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用發(fā)展

日期:2025-02-28 閱讀:1002
核心提示:2月28日,“2025功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈高峰論壇”,分論壇二:氮化鎵及其他功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用”,圍繞氮化鎵、氧化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用,氮化鎵、金剛石功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用,氮化鎵、氧化鎵及金剛石功率半導(dǎo)體制造關(guān)鍵技術(shù)及裝備等熱點(diǎn)主題與方向深入分享探討。

氮化鎵與碳化硅技術(shù)憑借性能優(yōu)勢,正重塑電力電子、通信及新能源產(chǎn)業(yè)格局,未來將形成互補(bǔ)共存的應(yīng)用生態(tài),推動全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高效、低碳方向轉(zhuǎn)型。 

2月27日,“2025功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈高峰論壇”在重慶山城國際會議中心盛大召開。本次論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)與三安光電股份有限公司 共同主辦,極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.ybx365.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、重慶三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦,重慶大學(xué)、 重慶郵電大學(xué)、湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司等單位協(xié)辦。 

28日精彩繼續(xù),其中,“分論壇二:氮化鎵及其他功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用”,圍繞氮化鎵、氧化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用,氮化鎵、金剛石功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用,氮化鎵、氧化鎵及金剛石功率半導(dǎo)體制造關(guān)鍵技術(shù)及裝備等熱點(diǎn)主題與方向,來自產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)專家、高??蒲性核爸髽I(yè)代表共同深入分享探討。

 會議現(xiàn)場  

廈門大學(xué)特聘教授康俊勇,南京大學(xué)教授修向前,南京大學(xué)教授陳鵬,西南交通大學(xué)電氣工程學(xué)院教授馬紅波,湖南三安半導(dǎo)體高級研發(fā)經(jīng)理劉成聯(lián)袂主持了本次分論壇。

 康俊勇

廈門大學(xué)特聘教授康俊勇

 王拙成博士?

電子科技大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院王茁成博士做了“低功耗硅基氮化鎵功率器件新結(jié)構(gòu)”的主題報告,分享了相關(guān)研究進(jìn)展與成果。

陳鵬 

南京大學(xué)教授陳鵬做了“高壓GaN基SBD功率器件研究進(jìn)展”的主題報告,分享了其課題組近年來通過研究GaN SBD的擊穿機(jī)制和器件工藝,研制超高壓/低開起的GaN SBD的有關(guān)成果。

康森 

天通銀廈新材料有限公司副總經(jīng)理兼CTO康森做了“大尺寸藍(lán)寶石晶圓技術(shù)進(jìn)展及其半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用趨勢”的主題報告,分享了大尺寸藍(lán)寶石晶圓在晶體生長、加工工藝及缺陷控制方面的技術(shù)突破與其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用前景等內(nèi)容。

馬紅波 

西南交通大學(xué)電氣工程學(xué)院教授馬紅波做了”基于GaN HEMT/SiC MOSFET的高頻、高效電能變換與應(yīng)用“的主題報告,結(jié)合其研究團(tuán)隊(duì)多年來在寬禁帶器件方面的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),面向數(shù)據(jù)中心、無線傳能、航空航天等領(lǐng)域,從變換架構(gòu)、軟開關(guān)拓?fù)?、控制方法、?shù)字控制等方面介紹基于SiC MOSFET/GaN HEMT的高頻、高效電力電子變換器設(shè)計,并指出其中的設(shè)計關(guān)鍵和考量。

許晟瑞 

西安電子科技大學(xué)教授許晟瑞做了”氮化物材料外延與p溝器件“的主題報告,分享了最新研究成果與進(jìn)展。

張輝 

浙江大學(xué)教授、杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司董事長張輝做了“大尺寸高質(zhì)量氧化鎵單晶材料進(jìn)展”的主題報告,介紹了相關(guān)研究進(jìn)展與趨勢。

張赫之

大連理工大學(xué)副教授張赫之做了”氧化鎵外延生長中擴(kuò)展缺陷形成機(jī)制及其對功率器件影響“的主題報告,分享相關(guān)研究成果與進(jìn)展,涉及β-Ga2O3厚膜外延中缺陷擴(kuò)展的研究等內(nèi)容。

鐘耀宗 

中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所副研究員鐘耀宗做了”基于p-GaN二次外延的增強(qiáng)型HEMT材料與器件研究“的主題報告,分享了最新研究成果與進(jìn)展。

高升 

重慶郵電大學(xué)講師華潤微電子(重慶)有限公司博士后、主任工程師高升做了”GaN功率器件關(guān)鍵技術(shù)與失效模式“的主題報告,分享了相關(guān)研究進(jìn)展與成果。

劉成 

湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司高級研發(fā)經(jīng)理劉成做了”應(yīng)用于高效能源及智能終端的GaN功率電子器件技術(shù)及挑戰(zhàn)“的主題報告,分享了相關(guān)趨勢進(jìn)展。

李茂林 

杭州云鎵半導(dǎo)體科技有限公司器件研發(fā)經(jīng)理李茂林做了”氮化鎵功率器件與工業(yè)級應(yīng)用前景“的主題報告,新能源領(lǐng)域,如微型逆變器和OBC等應(yīng)用中,GaN器件結(jié)構(gòu)的創(chuàng)新以及驅(qū)動集成技術(shù)的引入,將推動GaN功率器件挖掘出更大的性能與成本潛力。報告分享相關(guān)技術(shù)及應(yīng)用趨勢。

葛磊 

山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院博士后葛磊做了”金剛石CVD生長及光電器件制備研究進(jìn)展“的主題報告,分享了相關(guān)研究成果進(jìn)展。

蔣繼樂 

北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司副總裁蔣繼樂做了”金剛石材料精密拋光技術(shù)的研究進(jìn)展“的主題報告,分享了最新研究進(jìn)展。

修向前報告 

南京大學(xué)教授修向前做了”大尺寸氮化鎵襯底技術(shù)研究“的主題報告,介紹了相關(guān)研究成果進(jìn)展。

汪青 

南方科技大學(xué)研究教授汪青做了“GaN功率集成器件和感算一體傳感系統(tǒng)研究”的主題報告,分享相關(guān)研究成果與進(jìn)展,涉及首次實(shí)現(xiàn)基于電荷捕獲層(Charge Trapping Layer,CTL)技術(shù)的單片集成反相器。并聚焦于CMOS集成電路中必不可少的單元 GaN p-FET 器件存在的歐姆接觸和柵極刻蝕等關(guān)鍵問題,還介紹GaN氣體傳感器方面的工作,重點(diǎn)探討 GaN 感算一體傳感系統(tǒng)研究及其潛在應(yīng)用。

王方洲 

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室工程師王方洲做了“基于Schottky-MIS級聯(lián)陽極結(jié)構(gòu)的低功耗GaN橫向功率二極管研究”的主題報告,分享相關(guān)研究成果與進(jìn)展,涉及Schottky-MIS級聯(lián)陽極結(jié)構(gòu)等內(nèi)容。

游天桂 

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員游天桂做了“基于離子束剝離與轉(zhuǎn)移技術(shù)的寬禁帶半導(dǎo)體異質(zhì)集成材料與器件”的主題報告,分享相關(guān)研究成果與進(jìn)展,研究結(jié)果表明離子束剝離與轉(zhuǎn)移技術(shù)可以發(fā)展成為制備寬禁帶半導(dǎo)體異質(zhì)集成材料的通用技術(shù)。

付裕 

西安電子科技大學(xué)副教授付裕做了“硅終端金剛石場效應(yīng)管研究進(jìn)展”的主題報告,重點(diǎn)介紹硅終端金剛石界面機(jī)理、制備工藝、及其場效應(yīng)晶體管應(yīng)用等方面的研究進(jìn)展,以期推動金剛石半導(dǎo)體功率器件的發(fā)展。

許曉銳 

福州大學(xué)副教授許曉銳做了“高壓低導(dǎo)通氧化鎵功率二極管器件設(shè)計與關(guān)鍵工藝研究”的主題報告,圍繞有效p型摻雜的缺乏導(dǎo)致器件終端電場調(diào)控難、p型氧化鎳(p-NiO)空穴濃度高溫易退化、增強(qiáng)型MOSFET所需的電流阻擋層(CBL)缺陷密度高等關(guān)鍵問題,分享了相關(guān)研究進(jìn)展與成果。

替講李萬俊? 

重慶師范大學(xué)蔣佶利做了“超寬禁帶氧化鎵基日盲深紫外光電探測器”的主題報告,重點(diǎn)介紹了相關(guān)研究成果。涉及高透明Ga2O3薄膜的制備與改性;日盲深紫外探測器件設(shè)計與性能優(yōu)化;器件概念性應(yīng)用開發(fā)。

姚毅旭 

中國科學(xué)院半導(dǎo)體微電子研究所助理研究員姚毅旭做了“深能級瞬態(tài)譜在GaN基異質(zhì)結(jié)功率器件中的應(yīng)用”的主題報告,深能級瞬態(tài)譜(DLTS)技術(shù)作為寬禁帶半導(dǎo)體器件缺陷表征的核心方法,為解決GaN基HEMT/MIS-HEMT等器件的可靠性難題提供了關(guān)鍵支撐。報告詳細(xì)介紹了相關(guān)成果。

對話現(xiàn)場 

論壇期間,西安電子科技大學(xué)教授許晟瑞主持下,圍繞著“900V及以上GaN器件應(yīng)用趨勢和技術(shù)發(fā)展方向、 650V-900V大功率應(yīng)用場景下GaN與SiC器件的競爭及GaN器件的競爭力”、“藍(lán)寶石,硅,以及氮化鎵 等襯底的氮化鎵器件,未來誰更有王者風(fēng)范? ”、“30V及以下低壓器件的應(yīng)用前景及技術(shù)難點(diǎn)”、“第三代半導(dǎo)體電力電子器件可靠性判斷,以及實(shí)際應(yīng)用路徑”、“基于12寸大尺寸Si基先進(jìn)制程產(chǎn)線GaN器件技術(shù)的優(yōu)勢”、“商用GaN功率器件后續(xù)的技術(shù)發(fā)展趨勢”等主題,南京大學(xué)教授陳鵬、三安半導(dǎo)體研發(fā)經(jīng)理劉成、西南大學(xué)教授馬紅波、聚能創(chuàng)芯總經(jīng)理袁理等嘉賓與現(xiàn)場觀眾,展開探討,分享交流,觀點(diǎn)碰撞,現(xiàn)場氣氛熱烈。

 (論壇內(nèi)容詳情,敬請關(guān)注半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體公號)

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