晶體缺陷的表征和控制在半導(dǎo)體材料的制備和應(yīng)用中至關(guān)重要。晶圓襯底缺陷的類型、大小和密度直接決定了半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性。在晶體生長、晶圓加工和晶圓外延的過程中，需要對晶體/晶圓缺陷進(jìn)行檢測，以確保器件上使用的芯片符合設(shè)計(jì)要求。
2024年6月21至23日，“新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)及應(yīng)用大會”將在山東濟(jì)南召開，將邀請新一代半導(dǎo)體領(lǐng)域相關(guān)高校院所專家和知名企業(yè)代表出席，共同研討新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)進(jìn)展及未來發(fā)展趨勢，分享前沿研究成果，攜手助力我國新一代半導(dǎo)體晶體技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。山東大學(xué)高級實(shí)驗(yàn)師孫麗受邀將出席會議，并帶來《X射線形貌技術(shù)在半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用》的主題報(bào)告。 應(yīng)用晶體材料缺陷無損檢測技術(shù)是降低研發(fā)成本、提高研發(fā)效率的有效手段之一。X射線形態(tài)檢測系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶體層錯(cuò)、位錯(cuò)缺陷的無損表征（SF/TSD/TED/BPD等），也有利于研究晶體缺陷的變化，為改進(jìn)晶體生長和外延工藝提供理論指導(dǎo)和數(shù)據(jù)支持。報(bào)告將主要闡述XRT技術(shù)的基本原理，并展示了TSD和BPD的XRT圖像。同時(shí)，比較XRT和傳統(tǒng)濕法刻蝕方法的SiC位錯(cuò)缺陷分布和統(tǒng)計(jì)結(jié)果。研究進(jìn)展詳情，敬請關(guān)注會議！
孫麗，電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)博士，負(fù)責(zé)本單位公共測試平臺X射線形貌儀、分光光度計(jì)及熱分析等近十臺大型表征設(shè)備，并積極開展設(shè)備的新功能開發(fā)工作。主要從事SiC-二維材料制備及光電性能研究，作為項(xiàng)目骨干先后參與國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研發(fā)計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目等多個(gè)課題；在ACS AMI、Carbon、scripta Materialia等國際知名雜志上發(fā)表論文10余篇，申請國家發(fā)明專利10項(xiàng)（授權(quán)8項(xiàng)）。
一、組織機(jī)構(gòu)
指導(dǎo)單位：
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）
主辦單位：
山東中晶芯源半導(dǎo)體科技有限公司
山東華光光電子股份有限公司
山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院
山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)（www.ybx365.cn）
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
承辦單位：
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司
廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
協(xié)辦支持：
山東硅酸鹽學(xué)會新材料專委會
濟(jì)南晶谷研究院
江蘇通用半導(dǎo)體有限公司
北京中電科電子裝備有限公司
江蘇才道精密儀器有限公司
上海澈芯科技有限公司
顧問委員會：
陳良惠 鄭有炓 吳以成 褚君浩 祝世寧 李樹深 王立軍 黃如 楊德仁 葉志鎮(zhèn) 江風(fēng)益 劉益春 羅毅 金奎娟 劉紀(jì)美
大會主席：張榮 徐現(xiàn)剛 吳玲
大會副主席：陳秀芳 趙璐冰 王垚浩 吳德華
程序委員會：
李晉閩 沈波 康俊勇 張清純 馮淦 盛況 邱宇峰 張波 柏松 陳彤 修向前 黃凱 胡卉 伊?xí)匝?黎大兵 魏同波 張紫輝 鄧小川 劉斌 王曉亮 王新強(qiáng) 張進(jìn)成 吳軍 趙德剛 孫錢 楊學(xué)林 單崇新 于浩海 葉建東 王宏興 王篤福 王光緒 韓吉?jiǎng)?黃森 馮志紅 龍世兵 房玉龍 彭燕 徐明升 朱振 夏偉 楊祥龍 孫洪波 王成新 于國建 萬成安 上官世鵬
組織委員會：
李樹強(qiáng) 李強(qiáng) 高娜 張雷 寧靜 閆方亮 崔瀠心 謝雪健 肖龍飛 薛軍帥 王榮堃 劉鵬 王雨雷 王希瑋 賈欣龍 王守志 崔鵬 鐘宇 李沛旭 沈燕 杜軍軍 任穎 許建華 等
二、主題方向
1. 碳化硅晶體技術(shù)及其應(yīng)用
·碳化硅晶錠激光剝離技術(shù)及其設(shè)備
·液相法碳化硅單晶生長技術(shù)
·碳化硅外延生長技術(shù)
·先進(jìn)長晶及外延碳材石墨技術(shù)
·碳化硅功率器件設(shè)計(jì)與制造技術(shù)
·先進(jìn)碳化硅長晶爐及外延生長裝備
·先進(jìn)晶體缺陷檢測技術(shù)及其設(shè)備
·先進(jìn)研磨設(shè)備及先進(jìn)拋光技術(shù)
·激光退火設(shè)備及技術(shù)
·先進(jìn)刻蝕設(shè)備及技術(shù)
·銀燒結(jié)封裝技術(shù)及先進(jìn)封裝設(shè)備
2. 氮化鎵、超寬禁帶晶體及其應(yīng)用
·氮化鎵單晶及外延生長技術(shù)
·氮化鎵功率及射頻器件技術(shù)
·超寬禁帶半導(dǎo)體單晶技術(shù)
·鈮酸鋰晶體技術(shù)制備
·大尺寸金剛石單晶生長技術(shù)
·氧化鎵單晶生長技術(shù)
·氧化鎵外延及器件技術(shù)
·先進(jìn)AlN 單晶生長技術(shù)及其應(yīng)用
·Micro LED 技術(shù)
3. 砷化鎵、磷化銦晶體及其應(yīng)用
·砷化鎵、磷化銦單晶及外延技術(shù)
·半導(dǎo)體激光器技術(shù)及應(yīng)用
·車用激光雷達(dá)技術(shù)及應(yīng)用
·光通信技術(shù)及應(yīng)用
·紅外LED及顯示照明技術(shù)
三、會議概覽
會議時(shí)間：2024年6月21-23日
會議酒店：山東·濟(jì)南融創(chuàng)施柏閣酒店
四、擬參與單位
北方華創(chuàng)、百識電子、比亞迪半導(dǎo)體、長飛半導(dǎo)體、東莞天域、東尼電子、華大半導(dǎo)體、華虹半導(dǎo)體、海思半導(dǎo)體、海創(chuàng)光電、瀚天天成、國星光電、基本半導(dǎo)體、江蘇宏微、晶盛機(jī)電、晶湛半導(dǎo)體、科友半導(dǎo)體、山東華光、連城數(shù)控、理想汽車、麥科信、南砂晶圓、日立、三安半導(dǎo)體、山東華光、山東華云光電、山東中晶芯源半導(dǎo)體科技有限公司、是德科技、三環(huán)集團(tuán)、爍科晶體、士蘭微、STR、蘇州納維、泰克科技、同光半導(dǎo)體、泰科天潤、特思迪、ULVAC、先導(dǎo)新材、西門子、小鵬汽車、意法半導(dǎo)體、英飛凌、揚(yáng)杰科技、英諾賽科、中博芯、中電化合物、中電科二所、中電科十三所、中電科四十六所、中電科四十八所、中電科五十五所、中鎵半導(dǎo)體、中微公司、瞻芯電子、中芯國際、北京大學(xué)、東南大學(xué)、電子科技大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、清華大學(xué)、南京大學(xué)、山東大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、西安交通大學(xué)、廈門大學(xué)、浙江大學(xué)、中科院半導(dǎo)體所、中科院微電子所等
五、活動參與
1、注冊費(fèi)2800元，6月10日前注冊報(bào)名2500元（含會議資料袋，6月22日午餐、歡迎晚宴，6月23日自助午餐、晚餐）。企業(yè)展位預(yù)定中，請具體請咨詢。
2、掃碼報(bào)名
掃碼完成預(yù)報(bào)名，然后再注冊繳費(fèi)
六、繳費(fèi)方式
①銀行匯款
開戶行：中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號：336 356 029 261
名 稱：北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司
②移動支付
備注：通過銀行匯款/移動支付，請務(wù)必備注：單位簡稱+姓名，以便后續(xù)查詢及開具發(fā)票。若需開具發(fā)票請將報(bào)名信息、轉(zhuǎn)賬憑證及開票信息發(fā)送至郵箱:lilyli@china-led.net。
七、聯(lián)系方式
報(bào)告及論文投稿聯(lián)系：
賈先生18310277858，jiaxl@casmita.com
白女士18888840079，bailu@casmita.com
參會及商務(wù)合作：
賈先生 18310277858，jiaxl@casmita.com
張女士 13681329411，zhangww@casmita.com
段先生 13717922543，duanpf@casmita.com
八、協(xié)議酒店
1、會議酒店名稱：濟(jì)南融創(chuàng)施柏閣酒店（濟(jì)南市歷城區(qū)鳳鳴路5865號）
協(xié)議價(jià)格：大床/ 標(biāo)間 含早 500元/1-2份早餐
預(yù)訂方式：
發(fā)郵件到 預(yù)訂部 jnrcwlc@huazhu.com 抄送：victoria0001@hworld.com
郵件模本：晶體會議，姓名，電話，房型，入住時(shí)間，退房時(shí)間
酒店銷售經(jīng)理：謝文寧15966068948
2、周邊協(xié)議酒店
