5月28日,據(jù)“中電二公司”消息,滁州(晶隆半導(dǎo)體)半導(dǎo)體外延材料產(chǎn)業(yè)園EPC項(xiàng)目于當(dāng)月25日舉行封頂儀式。
安徽晶隆半導(dǎo)體成立于2023年9月18日,經(jīng)營(yíng)范圍為半導(dǎo)體分立器件制造、電子專用材料制造和集成電路芯片設(shè)計(jì)制造等。據(jù)悉,該項(xiàng)目為滁州市南譙區(qū)重點(diǎn)項(xiàng)目,項(xiàng)目總投資55億,占地面積約250畝,建筑面積18萬(wàn)平。另外根據(jù)安徽發(fā)改委發(fā)布的該項(xiàng)目節(jié)能報(bào)告審查意見(jiàn)得知,項(xiàng)目購(gòu)置硅外延爐、清洗機(jī)、石英清洗機(jī)、碳化硅外延爐、封裝機(jī)、倒片機(jī)、鈍化處理等生產(chǎn)線設(shè)備和表面顆粒測(cè)試儀、幾何參數(shù)測(cè)試儀、少字壽命測(cè)試、電阻率測(cè)試儀、質(zhì)譜儀等檢測(cè)設(shè)備。建成后形成年產(chǎn)630萬(wàn)片硅外延片和碳化硅外延片的生產(chǎn)能力。