寬禁帶半導體GaN能夠在更高電壓、更高頻率以及更高的溫度下工作,在高效功率轉換,射頻功放,以及極端環(huán)境電子應用方面具有優(yōu)異的材料優(yōu)勢。近日,“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”將于西安召開。論壇由第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導,西安交通大學、極智半導體產業(yè)網(www.ybx365.cn)、第三代半導體產業(yè)主辦,西安電子科技大學、中國科學院半導體研究所、第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會、全國半導體應用產教融合(東莞)職業(yè)教育集團聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。
期間,“平行論壇1:功率半導體器件設計及集成應用”上,中國科學院微電子研究所研究員黃森帶來《Si基GaN功率器件制備技術與集成》的主題報告,分享最新技術研究進展與成果。
報告中介紹,美國國防部高級研究計劃局(DARPA)將GaN列為改變世界的13大技術之一。國家十四五規(guī)劃“集成電路”專欄明確要求發(fā)展碳化硅,氮化鎵等寬禁帶半導體。發(fā)展GaN等功率半導體對推進 “碳達峰&碳中和”戰(zhàn)略提供重要技術支撐。
報告中指出,高頻低壓最能體 現 GaN 的高效優(yōu)勢!低壓是GaN基異質結功率器件的未來優(yōu)勢領域,大尺寸Si基AlGaN/GaN增強型MIS-HEMT是GaN低壓功率芯片的發(fā)展趨勢。超薄勢壘Si基GaN技術是實現GaN基功率集成的良好平臺。
研究基于超薄勢壘AlGaN(<6nm)/GaN異質結構,實現了無需刻蝕AlGaN的本征增強型MIS-HEMT,器件具有高閾值(~2.7 V)、良好的閾值均勻性以及較低的關態(tài)漏電,突破了P-GaN增強型HEMT的閾值瓶頸。
基于超薄勢壘AlGaN/GaN異質結構平臺實現了E/D模n溝道MIS-HEMT,低開啟電壓功率二極管,以及高擊穿電壓p/n溝道增強型MOSFET,為全GaN功率和射頻器件、數字/驅動電路的單片集成奠定了基礎;Si基超薄勢壘MIS-HEMT技術路線是未來GaN智能功率超越摩爾發(fā)展的良好選擇。
CASICON 系列活動簡介
“先進半導體產業(yè)大會(CASICON)” 由【極智半導體產業(yè)網】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業(yè)綜合活動?;顒泳劢瓜冗M半導體產業(yè)發(fā)展熱點,聚合產業(yè)相關各方訴求,通過“主題會議+項目路演+展覽”的形式,促進參與各方交流合作,積極推動產業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導體產業(yè)為己任,聯(lián)合實力資源,持續(xù)輸出高質量的活動內容,搭建更好的交流平臺,為產業(yè)發(fā)展貢獻應盡的力量。
(備注:以上信息僅根據現場整理未經嘉賓本人確認,僅供參考?。?/p>