日前，青島萊西經(jīng)濟開發(fā)區(qū)管委會與上海衍梓智能科技有限公司（以下簡稱“衍梓智能科技”）薄膜沉積設備項目簽約儀式在萊西市行政辦公中心舉行。
圖片來源：萊西經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
萊西經(jīng)濟開發(fā)區(qū)消息顯示，該項目總投資5億元，擁有自主核心技術，落戶經(jīng)濟開發(fā)區(qū)領芯芯片產業(yè)園，投產后將成為該行業(yè)全國第三家、山東省首家接入芯片頭部企業(yè)生產線并實現(xiàn)量產的半導體薄膜沉積裝備公司。
消息介紹稱，衍梓智能科技專注于半導體核心工藝——化學薄膜沉積設備制造生產，其核心產品VPE反應爐已實現(xiàn)自主可控。
