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國產(chǎn)光刻膠上演“冰火兩重天”

日期:2021-08-25 來源:全球半導體觀察閱讀:284
核心提示:今年以來,國產(chǎn)光刻膠一直是業(yè)界關(guān)注的焦點,資本青睞、光刻膠廠商也不斷加碼布局,而關(guān)于光刻膠的討論與爭議從
今年以來,國產(chǎn)光刻膠一直是業(yè)界關(guān)注的焦點,資本青睞、光刻膠廠商也不斷加碼布局,而關(guān)于光刻膠的討論與爭議從未停歇。
 
投資布局火熱
 
作為備受關(guān)注的“卡脖子”半導體材料,光刻膠已成為資本市場上的香餑餑,近期大基金二期和華為的投資布局更是讓光刻膠熱度加劇。
 
8月10日,徐州博康工商信息發(fā)生變更,注冊資本從7600.95萬元增至8445.50萬元,增幅11.11%,新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)(有限合伙)為股東,后者為華為旗下投資平臺。
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△Source:天眼查截圖
 
徐州博康成立于2010年3月,是一家光刻膠廠商。官網(wǎng)資料顯示,徐州博康實現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及最終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應鏈,產(chǎn)品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、g線/i線光刻膠、電子束光刻膠等。
 
在這之前不久,大基金二期亦出手投資光刻膠。
 
7月27日,南大光電公告披露稱,為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展,控股子公司寧波南大光電擬通過增資擴股方式,引入戰(zhàn)略投資者大基金二期。大基金二期將以合計1.83億元的價格認購寧波南大光電的新增注冊資本6733.19萬元。
 
與此同時,晶瑞電材(曾用名“晶瑞股份”)、彤程新材等光刻膠廠商也正在不斷加碼布局。
 
8月11日,晶瑞電材發(fā)布公告稱,向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券已經(jīng)創(chuàng)業(yè)板上市委審議通過,并已經(jīng)中國證監(jiān)會同意注冊。此次擬募集資金不超過5.23億元,集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目為募投項目之一。
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△Source:晶瑞電材公告截圖
 
該項目旨在通過自主研發(fā),打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線,完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設,滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型,技術(shù)指標和工藝性能滿足90~28nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求。
 
為保障該項目關(guān)鍵設備的技術(shù)先進性和設備如期到位,晶瑞電材通過Singtest Technology PTE. LTD.進口ASML光刻機設備、購置ArF光刻機配套設備、建設研發(fā)大樓。
 
此外,晶瑞電材8月1日宣布,曾在知名光刻膠企業(yè)任職近10年的陳韋帆加入公司光刻膠事業(yè)部擔任總經(jīng)理職務。
 
彤程新材方面,其通過進一步收購股權(quán)實現(xiàn)對光刻膠廠商北京科華的控股,目前直接持有北京科華56.56%股權(quán),并與Meng Technology Inc.合計持有北京科華70.53%股權(quán),今年3月開始已經(jīng)對北京科華實現(xiàn)并表。
 
8月16日,彤程新材公告披露稱,將通過公司全資子公司上海彤程電子材料有限公司在上海化學工業(yè)區(qū)內(nèi)投資建設“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”。
 
項目總投資為6.99億元,主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開發(fā),通過建立標準化的生產(chǎn)及控制流程,提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平,實現(xiàn)193nm濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn);同時,逐步建立先進的集成電路及配套材料開發(fā)與應用評價平臺。
 
廠商最新進展
 
資本追捧、廠商大力布局,那么,目前國產(chǎn)光刻膠發(fā)展進程到底如何?我們看看各廠商新近披露的公開信息。
 
晶瑞電材方面,其光刻膠產(chǎn)品由子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。8月1日,晶瑞電材在投資者互動平臺上表示,g/i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等知名大尺寸半導體廠商供貨,KrF光刻膠完成中試,目前已進入客戶測試階段,測試通過后即可進入量產(chǎn)階段。ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動,旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF光刻膠。
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△Source:互動平臺截圖
 
南大光電方面,7月29日其發(fā)布公告稱,公司作為牽頭單位,承擔的國家科技重大專項(02 專項)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目通過專家組驗收。寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸ArF(干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)業(yè)化基地,具備進一步擴大生產(chǎn)的能力。不過公告亦提示稱,目前ArF光刻膠產(chǎn)品尚未實現(xiàn)規(guī)?;慨a(chǎn)。
 
而據(jù)南大光電7月27日公告信息,寧波南大光電研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的客戶認證,相關(guān)主要芯片制造企業(yè)的認證工作正在順利推進,為ArF光刻膠的規(guī)模化量產(chǎn)奠定堅實基礎。
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△Source:全球半導體觀察,根據(jù)公開信息整理
 
上海新陽方面,據(jù)其6月30日公告,其自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認證,并成功取得第一筆訂單。8月16日,上海新陽在投資者互動平臺上表示,公司ArF干法光刻膠尚在認證當中。
 
彤程新材方面,根據(jù)彤程新材8月16日披露的半年報,北京科華半導體光刻膠業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入5647.83萬元,同比增長46.74%;半導體用g/i線光刻膠產(chǎn)品同比增長40.36%;KrF光刻膠產(chǎn)品同比增長94.51%,上半年新增包括KrF光刻膠、高檔i線光刻膠、化學放大型i線光刻膠在內(nèi)的10支產(chǎn)品獲得長江存儲、中芯北方、廣州粵芯、廈門士蘭集科等用戶訂單。
 
彤程新材表示,2021年下半年,公司將繼續(xù)推進KrF光刻膠及高分辨I線光刻膠的客戶開發(fā),積極布局14nm及以上工藝節(jié)點用KrF光刻膠產(chǎn)品,而上文也提及,彤程新材正擬投建的“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”。
 
而徐州博康方面,其官網(wǎng)介紹稱公司產(chǎn)目前已成功開發(fā)出40+個中高端光刻膠產(chǎn)品系列,包括多種電子束膠、ArF干法光刻膠、KrF正負型光刻膠、i線正負型光刻膠及GHI超厚負膠等,但未披露具體量產(chǎn)情況。
 
產(chǎn)線應用遇冷?
 
綜合前文來看,目前國內(nèi)主流光刻膠企業(yè)已取得一定進展,可實現(xiàn)量產(chǎn)g線/i線/KrF光刻膠,而ArF光刻膠仍主要處于認證或研發(fā)階段。然而,全球光刻膠技術(shù)逐步由g/i線向EUV發(fā)展的技術(shù)迭代路線清晰且國外企業(yè)已有ArF產(chǎn)品研發(fā)完成并量產(chǎn)。
 
彤程新材在半年報中指出,從中國大陸半導體光刻膠產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來看,2020年,ArF光刻膠占比40%;KrF光刻膠占比39%;g/i線光刻膠占比20%??梢?,KrF和ArF光刻膠需求量快速增長,而目前高分辨率的KrF和ArF光刻膠產(chǎn)品基本出自日本和美國公司。
 
而前不久在某個“半導體行業(yè)交流”群里,一位證券分析師與國內(nèi)知名晶圓代工廠商一位技術(shù)人員的一場討論,似乎引發(fā)了更多人對于國產(chǎn)光刻膠“火熱”背后的“冷思考”。
 
上文提到,ArF光刻膠在國內(nèi)仍主要處于認證或研發(fā)階段,正如南大光電在公告中所指出的,“ArF光刻膠的復雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風險,不僅需要技術(shù)攻關(guān),還需要在應用中進行工藝的改進、完善,這些都會決定ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟效益。”
 
事實上,國產(chǎn)光刻膠廠商能攻下KrF、ArF已實屬不易,因為面對海外技術(shù)封鎖,光刻膠國產(chǎn)化之路走得非常艱難,全球半導體觀察此前的報道《光刻膠國產(chǎn)化的6道坎》一文中有詳細闡述,光刻膠國產(chǎn)化面臨著純度、原材料、專利、規(guī)模等6道坎,其中提到驗證和規(guī)模量產(chǎn)方面的困難。
 
對于國產(chǎn)光刻膠而言,其國產(chǎn)化之路漫漫、任重而道遠,在這過程中免不了面臨各種爭議、甚至各種“炒作”,正所謂事實勝于雄辯,企業(yè)唯有沉下心來攻克技術(shù)難關(guān),才能迎來更多的機會。
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